Тип публикации: диссертация
Год издания: 2023
Ключевые слова: оже-спектроскопия, ВИМС, наноматериал, нанотрубки анодного оксида титана, оксид алюминия, GeSbTe, атомно-слоевое осаждение
Аннотация: В настоящее время развитие нанотехнологий и высокие темпы внедрения наноматериалов в высокотехнологичные отрасли промышленности приводит к новым, более комплексным, требованиям анализа химического состава и структуры данных материалов, так как зачастую они имеют аморфную структуру, сложную геометрию, многокомпонентный состав и содеПоказать полностьюржат примеси малых концентраций, влияющих на их свойства. Среди часто применяемых методов анализа химического состава, преимуществом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС) и Оже-спектроскопии является: глубина выхода, латеральное разрешение, возможность проводить анализ при малых энергиях, а также по глубине, благодаря наличию независимого травящего пучка. В ходе проведенных исследований по теме диссертационной работы были разработаны новые экспериментальные методики анализа профильного распределения химического состава по глубине сложных нанообъектов, в том числе аморфных и с малыми концентрациями легирующих примесей (менее 0,1 ат. %), основанные на комбинации методов времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии и оже-спектроскопии, позволяющие существенно повысить точность проводимых измерений. Данные методики анализа профильного распределения химического состава по глубине имеют перспективность использования для контроля наличия и распределения ионных фрагментов примесей в тонких пленках, в том числе с использованием трехмерной реконструкции данных времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии при разработке новых технологических процессов.