Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: Нефть и газ - 2026; Москва; Москва
Год издания: 2026
Ключевые слова: electrochemical anodizing, microarc oxidation, plasma-chemical magnetron sputtering, gas-permeable oxide films, aluminum oxide, электрохимическое анодирование, микродуговое оксидирование, плазмохимическое магнетронное напыление, газопроницаемые оксидные пленки, оксид алюминия
Аннотация: В работе рассмотрен комплекс электрохимических и плазмохимических технологий формирования газопроницаемых оксидных пленок для тонкопленочных сенсоров контроля влажности природного газа. Пористые слои Al2O3 получают методом электрохимического анодирования и микродугового оксидирования алюминиевых подложек в специально подобранных элПоказать полностьюектролитах с сегнетоэлектрическими добавками. Газопроницаемые электроды из титана и нитрида титана формируют плазмохимическим магнетронным напылением в вакууме. Показано, что сочетание этих технологий обеспечивает управляемую пористость, высокую диэлектрическую проницаемость и низкие диэлектрические потери, что повышает чувствительность и быстродействие сенсоров в системах подготовки и транспорта природного газа. The paper considers a set of electrochemical and plasma-chemical technologies for forming gas-permeable oxide films for thin-film sensors used to control the humidity of natural gas. Porous Al2O3 layers are obtained by electrochemical anodizing and microarc oxidation of aluminum substrates in specially selected electrolytes with ferroelectric additives. Gas-permeable electrodes made of titanium and titanium nitride are formed by plasma-chemical magnetron sputtering in vacuum. It is shown that the combination of these technologies provides controlled porosity, high dielectric permittivity and low dielectric losses, which increases the sensitivity and response speed of sensors in natural gas treatment and transportation systems.
Журнал: Нефть и газ - 2026
Выпуск журнала: 2026, Том 1
Номера страниц: 589-590
Место издания: Москва