Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2026

Идентификатор DOI: 10.17223/00213411/69/4/9

Ключевые слова: thin magnetic film, Uniaxial magnetic anisotropy, effective saturation magnetization, scanning ferromagnetic resonance spectrometer, тонкая магнитная пленка, одноосная магнитная анизотропия, эффективная намагниченность насыщения, сканирующий спектрометр ферромагнитного резонанса

Аннотация: Разработана магнитная система Хальбаха, создающая однородное поле в плоскости тонких магнитных пленок (ТМП) при их изготовлении по технологии магнетронного напыления. Магнитное поле системы превышает по величине градиентное поле магнетрона примерно в 60 раз на площади 60´48 мм². Это позволяет существенно уменьшить неоднородности распределения магнитных характеристик ТМП по площади образцов. Система сконструирована на основе четырех магнитных линеек, каждая из которых состоит из 8 кобальт-самариевых магнитов размерами 10×10×10 мм. Факт уменьшения неоднородностей распределений магнитных характеристик по площади ТМП подтвержден измерениями на сканирующем спектрометре ферромагнитного резонанса 12 образцов толщиной ~ 55 нм, полученных одновременно распылением мишени состава Ni₈₀Fe₂₀ на подложки из кварцевого стекла размерами 12´12´0.5 мм. A Halbach magnetic system has been developed that generates a uniform field in the plane of thin magnetic films (TMF) produced using magnetron sputtering technology. The system’s magnetic field is approximately 60 times greater than the gradient field of a magnetron over an area of 60×48 mm². This significantly reduces the non-uniformity of the TMF magnetic characteristic distribution over the sample area. The system is constructed using four magnetic bars, each composed of eight cobalt-samarium magnets measuring 10×10×10 mm. The reduction in non-uniformity of the magnetic characteristic distribution over the TMF area was confirmed by measurements using a scanning ferromagnetic resonance spectrometer on 12 samples, each ~ 55 nm thick, obtained by simultaneously sputtering a Ni₈₀Fe₂₀ target onto 12×12×0.5 mm quartz glass substrates.

Журнал: Известия вузов. Физика

Выпуск журнала: Т. 69, № 4

Номера страниц: 82-92

ISSN журнала: 00213411

Место издания: Томск

Издатель: Национальный исследовательский Томский государственный университет

• Беляев Борис Афанасьевич (Институт физики им. Л.В. Киренского ФИЦ КНЦ СО РАН)
• Боев Никита Михайлович (Институт физики им. Л.В. Киренского ФИЦ КНЦ СО РАН)
• Изотов Андрей Викторович (Институт физики им. Л.В. Киренского ФИЦ КНЦ СО РАН)
• Скоморохов Георгий Витальевич (Институт физики им. Л.В. Киренского ФИЦ КНЦ СО РАН)
• Соловьев Платон Николаевич (Институт физики им. Л.В. Киренского ФИЦ КНЦ СО РАН)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК