Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: Четвертый семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы "Кузнецовские чтения - 2017"; Новосибирск; Новосибирск
Год издания: 2017
Ссылки на полный текст